ダイシング／分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げるウェーハーエキスパンダー。ダイシング／分割後のチップハンドリングが著しく向上する。拡張率、拡張スピードを任意に設定可能、高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ、グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ、などの特長がある。