＝＝＝＝＝　「カセット洗浄の悩み、解決します！」　＝＝＝＝＝

【モデルTCC-803】は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした、少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置。

「洗浄」→「リンス」→「乾燥１」→「乾燥２」・「静電気除去」のプロセスを自動運転。

■特長
・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現

■処理数：
・SMIF POD：32個／シフト(8時間)
・200mmカセット：106カセット／シフト(8時間)
・150mm カセット：160カセット／シフト(8時間)
※200mm(8)カセットまで対応。