【スーパークリーンヒーター SH Series】は、加熱部にステンレス（SUS316-EP処理）を採用した不活性ガス／クリーンドライエアー用ヒーター｡流体を汚染させずに瞬間加熱が行える。ヒーター容量は500〜2400Wまで6種類を用意。加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理。装置組込みや既設ラインへの組込みなど、インライン設置に最適。