【LED光源 UV硬化装置】は、常温／室温照射、瞬時の光源立ち上がりが可能な装置。少流量N2パージ機能を内蔵、波長365nmを採用し全UVテープに対応、照度バラツキを解消したほか光源交換は10年以上不要で、電力消費は従来比1／9以下を実現。小型・軽量のテーブルトップタイプで、ダイシング工程とバックグラインド工程に適応可能。

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