センシリオンのマスフローコントローラーは、幅広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御できるのが特長です。革新的な CMOSens技術を基礎とするマスフローコントローラーの心臓部は、単一チップ上に必要な信号処理回路と一緒に集積された熱量測定マイクロセンサー (MEMS) です。流量は熱測定原理を使用して測定され、デジタル制御回路により効率的に制御されます。この独自に集積された技術アプローチにより、非常に魅力的なコストで優れたパフォーマンスと信頼性を実現しています。実装後、センシリオンのマスフローコントローラーをフィールドで再校正する必要はありません。

【特長】
• 優れた繰り返し精度 (0.1% セットポイント)
• 高精度 (0.8% セットポイント)
• 幅広い制御範囲 (1000:1以上)
• 超高速設定時間 (50 ms 未満)
• ドリフトなしかつフィールドでの再校正不要
• 平均故障間隔 (MTBF) 169年
• オプションのマルチガス/流量レンジ
• 小型・軽量

※その他詳細についてはカタログをダウンロードください。