【HFE／HFETシリーズ】は、HFE：SUS316L製／HFET：チタン製の二重ダイアフラム構造の圧力センサ。ダイアフラム部がφ17と小型ながら、温度補償回路の内蔵により温度特性に優れている。使用可能な温度範囲／湿度範囲は、−20〜100℃(氷結しない事)／35〜85％ RH(結露しない事)、過大圧力は定格圧力の200％を実現。接液部材質を害さない気体および液体に適応し、医療用機器や分析機器などの組込みに最適。主な仕様は、
(1)電源：1mA(定電流)
(2)定格出力：60〜140mV
(3)応答性：5msec以下
(4)精度：±0.5％ F.S.以下(直線性：±0.3％ F.S.以下)
(5)温度特性：±0.05％ F.S.／℃以下(0〜60℃)
(6)重量：HFEシリーズ約20g、HFETシリーズ約15g