圧力範囲；真空から40MPaまでの領域で流量レンジ0…1mln／minから0…1670ln／minまでをカバーする真にユニークなケーパビリティを持った製品群です。これら広域な流量レンジ、運転条件を備えたEL-FLOWシリーズは当社の最もポピュラーでプルーブンな製品です。

特長
・高速応答
・最高精度；±0.5％RD＋±0.1％FS
・アナログとデジタル(Fieldbus)通信
・メタルシール対応可