ベーパーの質量制御を実現するためにユニークなシステム（パテント取得）、CEM-Liquid Delivery System(LDS)を開発しました。
大気圧、加圧、真空プロセスの何れにも適用可能で、水ベースで0.25〜1200g／hの流量の気化が可能です。

特長
・精密に制御された気液混合
・高速応答
・高再現性
・非常に安定したベーパーフロー
・気液混合比率のフレキシブルな選択性
・低運転温度（従来型に比して）
・PC／PLCによる制御可（オプション）