優れた精度と薄型デザインを両立させた、ダイレクトドライブ式のエアベアリング平坦回転ステージ。

さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのインデキシングや等速スキャンに最適なソリューションを提供します。

エア浮上ガイドのため一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けないため、スティックスリップや摩擦熱がなく高速駆動であり、高い平坦度とわずかな偏芯は非常に高精度位置決めを実現します。

動作範囲:> 360°
駆動面の直径:150mm～350mm
偏芯:100～200nm
平坦度:50-75nm
Wobble:1μrad～2µrad
耐荷重:190～1200N
内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート
最大速度:500rpm

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。