H-840ヘキサポッドのさらに高分解能タイプをリリースしました。

H-840.G2IHPは、X、Y方向に40nm、Z方向に20nmのステップで、生産技術や計測技術におけるアライメントやポジショニングアプリケーションの高い要求に応えることができます。

他のH-840ヘキサポッドシリーズと同様に、デザインとレイアウトは堅牢で、長い動作範囲を提供し、作業の柔軟性を高めています。

▪ 最大20ナノメートルステップ
▪ 最大40 kgの耐荷重
▪ トラベルレンジ:±50 mm / ±30°
▪ 再現性:±0.1 μm
▪ BLDC モータ

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。