大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現。

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。

【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング/スキャニング
・共振周波数1120Hz(210g負荷時560Hz)
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能～0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ

【用途】
・3D画像
・スクリーニング
・オートフォーカスシステム
・顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・表面形状解析
・ウェハー検査　など

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。