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【カタログプレビュー】ウェーハ用圧力分布測定システム C-SCAN

【C-SCAN】は、半導体製造工程における研磨機や貼り合わせ装置など、各種設備の圧力分布を測定するウェーハ用圧力分布測定システム。厚み0.1mmの超薄型フィルム状センサシートを使用し、リアルタイムに測定する。シートには多数のセンシングポイントを配置。測定データは、PC画面上においてさまざまな表示・分析を行うことが可能。各種設備の管理や開発での使用に適している。主な用途は以下のとおり。
(1)ウェーハのグラインディング工程の圧力分布
(2)ウェーハのポリッシング工程の圧力分布の測定
(3)ウェーハのラッピング工程の圧力分布の測定
(4)その他研磨工程の圧力分布の測定
(5)ウェーハの張り合わせ工程の圧力分の測定
発行元:ニッタ(株)
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おすすめ情報

  • <フィルム式圧力分布測定システム用タクタイルセンサ ソフトウェア Ver7.5>

    本製品は、フィルム式圧力分布測定システム用「タクタイルセンサ」のソフトウェア。ユーザーの要望により、ムービーデータのAVI化機能を追加し、新たにマルチポイントキャリブレーション機能を搭載。より精度を高めたデータの採取だけでなく、他アプリケーションソフトウェアへの連携も強化されており、ストレスなく解析が行える。対象システム:I-SCAN/PINCH/BIG-MAT/HUGE-MAT/C-SCAN、システム動作対象OS:WindowsXP(SP3)、Windows、Vista(SP2)、Windows 7(32/64bit)、Windows 8(32/64bit)。

    主な特長は下記のとおり。
    (1)OS Windows 7およびWindows 8の64bitへの対応
    (2)マルチポイントキャリブレーション(2点から多点式へ)
    (3)ムービーデータのAVI化
    (4)Webカメラとムービーデータの同期サンプリング

  • <面圧分布測定システム I-SCAN>

    ■さまざまなサイズと測定範囲の超薄型センサシートは、多くの用途、対象物での使用ができます。
    ■多くのセンシングポイント(約2000点)により、高密度な圧力分布測定ができます。
    ■リアルタイムでの2次元、3次元の圧力分布表示や荷重の中心点の表示ができます。
    ■最高100Hzのサンプリング周波数で、動的なレコーディングができます。
    ■測定データは様々なグラフ機能を始めとした、豊富な機能で解析ができます。
    ■測定データはASCII形式やBMP形式での保存ができます。
    ■用途・圧力・対象物の大きさなどにより、センサシートを選択できます。