【カタログプレビュー】ウェーハ用圧力分布測定システム C-SCAN
【C-SCAN】は、半導体製造工程における研磨機や貼り合わせ装置など、各種設備の圧力分布を測定するウェーハ用圧力分布測定システム。厚み0.1mmの超薄型フィルム状センサシートを使用し、リアルタイムに測定する。シートには多数のセンシングポイントを配置。測定データは、PC画面上においてさまざまな表示・分析を行うことが可能。各種設備の管理や開発での使用に適している。主な用途は以下のとおり。
(1)ウェーハのグラインディング工程の圧力分布
(2)ウェーハのポリッシング工程の圧力分布の測定
(3)ウェーハのラッピング工程の圧力分布の測定
(4)その他研磨工程の圧力分布の測定
(5)ウェーハの張り合わせ工程の圧力分の測定
(1)ウェーハのグラインディング工程の圧力分布
(2)ウェーハのポリッシング工程の圧力分布の測定
(3)ウェーハのラッピング工程の圧力分布の測定
(4)その他研磨工程の圧力分布の測定
(5)ウェーハの張り合わせ工程の圧力分の測定
発行元:ニッタ(株)