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【カタログプレビュー】回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000

【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250~990nm、深紫外(193nm~)、近赤外(~1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(~25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。
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企業基本情報

社名:
日本セミラボ株式会社
住所:
〒 222-0033
神奈川県 横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6F
Web:
https://www.semilab-j.jp/
TEL:
045-620-7960

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    【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250~990nm、深紫外(193nm~)、近赤外(~1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(~25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。

  • ■非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ

    【LEI-1510シリーズ】は、2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InPなど)epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定する、旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置。四探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決する。ロボットを取り付けることにより、多数枚を迅速に計測処理することが可能。0.035 ~3200 ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性を実現。計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニタ上で確認できる。