【カタログプレビュー】回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000

【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250~990nm、深紫外(193nm~)、近赤外(~1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(~25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。
発行元:日本セミラボ株式会社