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カタログを選択 回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.29 MB 【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250~990nm、深紫外(193nm~)、近赤外(~1690nm)。全波長領域に…
カタログを選択 非接触シート抵抗測定装置 LEI-1510シリーズ ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.36 MB 【LEI-1510シリーズ】は、2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InPなど)epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗測定する、旧リハイトン社(Lehighton Electronics, Inc.)の装置。四探針方式で起こり得る接触汚染や具合による再現性問題を解決する。ロボットを取り付けることにより、多数枚を迅速に計測処理することが可…
カタログを選択 薄膜評価装置ナノインデンター IND-1000 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.7 MB 【IND-1000】は、押し込み荷重と変位を測定し、薄膜、樹脂、金属などのさまざまな物質の 硬度や弾性率を測定すナノインデンター。AFMにナノインデンターのヘッドを搭載することで、圧痕を直接観察することも可能。 主な測定項目は、硬度、弾性率、降伏強度、粘弾性(貯蔵損失弾性率)、破壊靭性、耐摩耗性、耐傷性。
カタログを選択 DLTSシステム DLS-1000 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.49 MB 【DLS-1000】は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染およびダメージなどによる結晶欠陥を電気的かつ高感度に測定・分析を行うシステム。半導体における深い準位(トラップ)を測定することで、容量の過渡応答を利用して禁制帯中のエネルギーと捕獲断面積が分かる。改良された高感度システムであり、先行モデル「DLS-83D」の8倍の感度を有する。全自動…
カタログを選択 CarlZeiss製 SEM-AFMシステム ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.57 MB 本製品は、2つのシステムがそれぞれ独立している場合と比較して、多数のメリットがある複合SEM-AFMシステム。表面とナノ構造を測定する新機能を搭載しており、SEMとAFMを組み合わせることで、AFMチップを正確に位置決めできる。AFMは、表面の形状や、電気・機械特性に関する正確な情報を提供。
カタログを選択 分光エリプソメーター SE-1000 ファイル形式:pdfファイルサイズ:1.76 MB 【SE-1000】は、モジュール性と高い測定性能を卓上型のコンパクト設計で実現する分光エリプソメーター。回転補償子法により高い測定性能を提供。コスト効率に優れ、研究開発ラボに適した手動のゴニオメーターと手動のサンプル位置決め機能を搭載。非接触・非破壊の光学的測定を基板や単層/多層サンプルで行い、個々の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率、…
カタログを選択 コードレス P/N判定機 PN-100 ファイル形式:pdfファイルサイズ:1.96 MB 【PN-100】は、、半導体材料の導電型(pまたはn)を非接触・高速で判定できる装置。操作が容易、かつ高感度。PN判定器の動作は、SPV(サーフェイス・フォトボルテージ)法に基づいている。パルス光にて半導体材料中に自由キャリア(電子正孔対)を高濃度で周期的に励起し、プローブで測定可能とする。コードが付いていないため断線の心配がない。P/N判定…
カタログを選択 ホール効果測定装置 PDL-1000 ファイル形式:pdfファイルサイズ:2.23 MB 【PDL-1000】は、。IBM社が開発した技術を搭載し、ワイドなダイナミックレンジに対応するホール効果測定装置。AC/DC両磁界方式、ロックインアンプおよびフーリエ変換解析を組み合わせることにより、広い測定レンジへの対応が可能。AC/DC 両磁界方式、ロックインアンプおよびフーリエ変換解析を組み合わせることにより、広い測定レンジでも省スペー…
カタログを選択 非接触シート抵抗/移動度測定装置 LEI-2000M ファイル形式:pdfファイルサイズ:2.98 MB 【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR&D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど…
カタログを選択 ナノインデンター IND-1500 ファイル形式:pdfファイルサイズ:1.79 MB 【IND-1500】は、薄膜・樹脂・金属の硬度や弾性率の測定・評価に適した測定器。押し込み荷重と変位を測定し、薄膜・樹脂・金属の硬度や弾性率を測定する。INDにAFMヘッドを追加搭載することで、圧痕を直接観察することも可能。高精度な顕微鏡による自動位置調整を実現。操作しやすいGUIを採用。トレーサブル校正により定期校正作業が不要。容易な圧…
企業基本情報社名:日本セミラボ株式会社住所:〒 222-0033神奈川県 横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル6FWeb:https://www.semilab-j.jp/TEL:045-620-7960
おすすめ情報≪分光エリプソメーター SE-1000≫ 【SE-1000】は、モジュール性と高い測定性能を卓上型のコンパクト設計で実現する分光エリプソメーター。回転補償子法により高い測定性能を提供。コスト効率に優れ、研究開発ラボに適した手動のゴニオメーターと手動のサンプル位置決め機能を搭載。非接触・非破壊の光学的測定を基板や単層/多層サンプルで行い、個々の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率、消衰係数)を取得。コンポーネントを交換可能なセミラボの新型高性能電子機器が搭載し、新世代の動作・分析ソフトウェア(SAM/SEA)で動作する。≪回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000≫ 【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250~990nm、深紫外(193nm~)、近赤外(~1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(~25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。