本製品は、2つのシステムがそれぞれ独立している場合と比較して、多数のメリットがある複合SEM-AFMシステム。表面とナノ構造を測定する新機能を搭載しており、SEMとAFMを組み合わせることで、AFMチップを正確に位置決めできる。AFMは、表面の形状や、電気・機械特性に関する正確な情報を提供。