【LEI-2000M】は、主に化合物材料デバイスやR＆D向けに開発され、移動度やシート抵抗などの材料にとって重要なパラメータを得るのに適した測定器。最小2インチ、最大8インチ径のウェーハに対応。非接触・非破壊で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応。GaN.AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど幅広い化合物半導体材料に対応。