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  ≪分光エリプソメーター SE-1000≫
  
  【SE-1000】は、モジュール性と高い測定性能を卓上型のコンパクト設計で実現する分光エリプソメーター。回転補償子法により高い測定性能を提供。コスト効率に優れ、研究開発ラボに適した手動のゴニオメーターと手動のサンプル位置決め機能を搭載。非接触・非破壊の光学的測定を基板や単層/多層サンプルで行い、個々の薄膜の膜厚や光学特性(屈折率、消衰係数)を取得。コンポーネントを交換可能なセミラボの新型高性能電子機器が搭載し、新世代の動作・分析ソフトウェア(SAM/SEA)で動作する。

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  ≪回転補償子型分光エリプソメーター SE-2000≫
  
  【SE-2000】は、半導体・太陽電池・液晶パネル・LED・有機ELなど薄膜の膜厚と光学特性(屈折率、消衰係数)を評価する装置。拡張性が高く、長年の経験による解析ノウハウと豊富なデータベースにより、研究開発からインライン生産品質管理など、さまざまな用途で使用できる。対応波長範囲:250～990nm、深紫外(193nm～)、近赤外(～1690nm)。全波長領域において、数秒で測定が行える。オプションでIR(～25μm)、ラマン分光、、シート抵抗測定、細孔率分布測定なども可能。マッピングステージも用意している。