【カタログプレビュー】マスエアフローセンサ PMF4000シリーズ

【PMF4000シリーズ】は、最新の微細加工技術を駆使したポシファの第3世代サーマルフローダイを搭載しているマスエアフローセンサ。一対のサーモパイルを用いて、マスフローによる温度勾配の変化を検出し、優れた信号対雑音比と繰り返し性を実現。センサダイの熱絶縁構造は「ソリッドステート」であるため、競合技術で用いられる表面空洞や脆弱な膜は必要なく、センサは目詰まりや圧力衝撃に強くなっている。
発行元:オールデバイス株式会社