【カタログプレビュー】MEMSピラニ真空トランスデューサー PVC5800シリーズ
PVC5800シリーズは、温度補償機能を備えたフルキャリブレーション済みの真空トランスデューサーで、1 mTorrから大気圧までの広範な測定範囲を提供します。
MEMS PiraniセンサとMEMSピエゾ抵抗式圧力センサを組み合わせ、高精度な測定を実現しています。
内蔵の電子回路がセンサ信号をデジタル化し、I2Cインターフェースを介して出力します。
MEMS PiraniセンサとMEMSピエゾ抵抗式圧力センサを組み合わせ、高精度な測定を実現しています。
内蔵の電子回路がセンサ信号をデジタル化し、I2Cインターフェースを介して出力します。
発行元:オールデバイス株式会社














