新製品投入(New Product Introduction：NPI)の業界リーダーとして、イノベーションを推進するMouser Electronics(マウザー・エレクトロニクス 本社：米国テキサス州マンスフィールド、以下マウザー)は、TE Connectivity(本社：スイス・シャフハウゼン、以下TE)が展開するMeasurement Specialties の8XH高精度メディア分離型圧力センサの取り扱いを開始しました。高い精度と信頼性を備えた本製品は、フィールドキャリブレーションを行うことなく、システムレベルで高精度な測定を実現します。半導体製造装置、プロセスオートメーション、医療機器、OEM機器、IoTシステム、分析機器などの用途に適しています。

マウザーで取り扱う8XH高精度メディア分離型圧力センサは、MEMSダイ、ASIC(特定用途向け集積回路)、および受動部品をオイル充填された媒体分離構造(アイソレーションキャビティ)に封入した設計を採用しています。MEMSダイのブリッジ抵抗を利用して、同一の熱環境下で温度と圧力を同時に測定します。これにより、温度補償に必要な高精度の温度データを取得できるほか、優れた初期精度と高いEMC性能を実現しています。82H、85H、85FH、86Hの各モデルをラインアップしており、デジタル出力モードでは圧力と温度のデータを同時に出力できます。

また、工場出荷時に校正済みで、5psi～1500psiの範囲において、ゲージ圧、真空ゲージ圧、および絶対圧の測定に対応しています。加えて、増幅アナログ出力とデジタル出力の両方に対応しています。デジタル通信にはI²Cプロトコルを採用し、更新モードを選択することが可能です。316Lステンレス鋼を採用しているため、腐食性の高いプロセスガスや強力な化学薬品に対して優れた耐性を発揮します。モジュール径13mm、16mm、19mmの3種類をラインアップしており、溶接取り付け方式またはOリング取り付け方式を選択できます。また、RoHS指令に準拠しており、補償温度範囲は-20℃～＋85℃です。

TE Connectivity／Measurement Specialties 8XH高精度メディア分離型圧力センサの詳細は、以下をご覧ください。
https://www.mouser.jp/new/te-connectivity/te-8xh-pressure-sensors/

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