1:半導体搬送システム事業
(1)半導体用ウェーハ搬送ロボットシステム、レーザ応用システム
(2)液晶用ガラス基板搬送ロボットシステム、レーザ応用システム
など関連装置の開発設計・製造・販売
2:半導体洗浄装置事業
(1)ウェーハ自動剥離装置
(2)ウェーハ自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄、ラップ後洗浄、アルカリエッチング洗浄、
熱処理前洗浄、熱処理後洗浄、研磨後洗浄、FINAL洗浄
など関連装置の開発設計・製造・販売
3:微細加工事業
(1)プラスチック⾦型、アルミ押出⾦型の設計・製造
(2)ファインセラミック、シリコンパッツ、その他の材料の加工・販売