MEMSテストシステム STI3000の販売を開始
2008/10/08
ウェーブクレスト株式会社
STI3000ウェハーテストヘッドモジュールと組み合わせることで、静電容量型ジャイロ、加速度センサ、圧力センサ、マイクロホン、リゾネータ等のダイナミックプロービング試験機能を提供します。このダイナミックプロービング試験は、リーク、キャパシタンス測定に加え、Drive Sense Technology(DST)により、共振周波数、ダンピングファクタ、Q値、スティクション、ヒステリシス、f-3db周波数などの各種パラメータの測定が可能となっています。これらのパラメータ測定により、プロセスの信頼性やデバイスの品質を飛躍的に向上させることが可能となります。
「STI3000 主なテストリソース」
■ 8 STI Drive Sense Technologies Resources
■ 8 Parametric Measurement Units
■ 8 Digitizer
■ 8 Direct Digital Synthesis Resources
■ 4 Capacitance Measurement Resources
■ I2C Communications Bus
「STI3000 仕様」
■ 9” Diameter Round Test Head
■ 70-Pin Ring Insert Probe Card
■ ケーブルセット
■ 各種プローバに対応
「STI3000 主なテストリソース」
■ 8 STI Drive Sense Technologies Resources
■ 8 Parametric Measurement Units
■ 8 Digitizer
■ 8 Direct Digital Synthesis Resources
■ 4 Capacitance Measurement Resources
■ I2C Communications Bus
「STI3000 仕様」
■ 9” Diameter Round Test Head
■ 70-Pin Ring Insert Probe Card
■ ケーブルセット
■ 各種プローバに対応
