LCR13シリーズは幅がわずか13mmのリニアロータリ式（直線＋回転）の電動アクチュエータです。リニア、ロータリともにダイレクトドライブ（直動式）のサーボモータ、回転モータはブラシレスサーボモータを採用。Z軸とシータ軸を一体化した小型ユニットは回転を必要とするピック＆プレース等の用途に最適です。

LCR13の可動部の重さはわずか95gと軽量のため、高速／高加速度の動作が可能です。真空接続用として先端に穴の開いたシャフトはモータシャフトと一体化しているため、塵が詰まりにくい構造となっています。LCR13は２軸の推力／トルク、位置、加速度を同時に制御しながらデータをフィードバックすることが出来ます。SMAC独自のソフトランド機能により、ワークの表面に軟着陸して、ワークの破損を防ぎます。

[仕様]
寸法：75×155×13mm
ストローク：25 (+1/-0)mm
最大推力：7
nエンコーダ分解能：5 µm 標準 (1µmはオプション)
ロータリエンコーダ分解能：24K/回転