ソーラーリサーチ研究所（本社：大阪府豊中市、代表取締役社長：明石博）は、1〜15mm微小ワークのウエハチップを非接触にて把持搬送する【ウエハ・チップ非接触コレットチャック】を開発しました。この装置は、気体を噴出することにより小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 　　　搬送、反転、傾斜することが可能で、汚染・損傷・パッド跡の付着がありません。
＜ウエハ・チップ非接触コレットチャックの主な特長＞　
■1〜15mmの微小ウエハチップを非接触にて懸垂把持、トレーに収納、ハンドリングが可能
■トレーよりチップを非接触にて取り出し可能
■チップに傷、汚れを付着させない
■チップにパッド跡をつけない
＜適応用途＞
ウエハチップ・微小レンズ・微小ワーク