超高純度用ALD20バルブが半導体製造を変える
2020/03/02
日本スウェージロックFST
大流量に対応し、熱安定性および極めて高い精度を備えたALD20バルブが、
デバイス・メーカーによる新プリカーサーの試験的導入に寄与
2020年2月1日 - 流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社(本社:米国オハイオ州ソロン、会長、社長兼最高経営責任者:トーマス・F・ロジック)は、このたび、大流量に対応した超高純度用(UHP)ALD20バルブを新たにリリースしたことを発表しました。
原子層蒸着(ALD)用バルブが市場に登場して以来、当社は半導体装置メーカーやデバイス・メーカーと協力し、急速に変化を続けるプロセス要件に対応する製品の開発に取り組んできました。ALD20バルブは、これらのメーカーとの協力によって生まれた新製品で、低蒸気圧の化学物質の試験的導入という先進的なプロセス設計を実現します。
ALD20バルブが、未来の競争優位性を獲得する一助となれば幸いです。
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
https://www.swagelok.co.jp/ja-JP/About/Newsroom/Press-Releases/ald20-uhp-valve-improves-productivity-semiconductor
デバイス・メーカーによる新プリカーサーの試験的導入に寄与
2020年2月1日 - 流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社(本社:米国オハイオ州ソロン、会長、社長兼最高経営責任者:トーマス・F・ロジック)は、このたび、大流量に対応した超高純度用(UHP)ALD20バルブを新たにリリースしたことを発表しました。
原子層蒸着(ALD)用バルブが市場に登場して以来、当社は半導体装置メーカーやデバイス・メーカーと協力し、急速に変化を続けるプロセス要件に対応する製品の開発に取り組んできました。ALD20バルブは、これらのメーカーとの協力によって生まれた新製品で、低蒸気圧の化学物質の試験的導入という先進的なプロセス設計を実現します。
ALD20バルブが、未来の競争優位性を獲得する一助となれば幸いです。
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
https://www.swagelok.co.jp/ja-JP/About/Newsroom/Press-Releases/ald20-uhp-valve-improves-productivity-semiconductor