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2026/02/19 EV Group、量産向け次世代レジストプロセス装置「EVG120」を発表 ~超小型・新プラットフォームにより、よりコンパクトで柔軟な構成に、in-situレジスト厚さ計測とウェーハエッジ露光機能を搭載。上位機種EVG150の高性能を実現~ オーストリア ザンクト・フローリアン、2026年2月18日 最先端および将来の半導体設計と半導体集積化スキームを支える革新的なプロセスソリューションと専門知識を提供するリーデ…
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