TE Connectivity／Measurement Specialties 高精度メディア分離型圧力センサ 8XH

【8XH】は、高い精度と信頼性を備え、フィールドキャリブレーションを行うことなく、システムレベルで高精度な測定を実現するメディア分離型圧力センサ。MEMSダイ、ASIC(特定用途向け集積回路)、および受動部品をオイル充填された媒体分離構造(アイソレーションキャビティ)に封入した設計を採用。MEMSダイのブリッジ抵抗を利用して、同一の熱環境下で温度と圧力を同時に測定することにより、温度補償に必要な高精度の温度データを取得できるほか、優れた初期精度と高いEMC性能を実現。82H／85H／85FH／86Hの各モデルをラインアップしており、デジタル出力モードでは圧力と温度のデータを同時に提供。デジタル通信にはI²Cプロトコルを採用し、更新モードを選択可能。316Lステンレス鋼を採用しているため、腐食性の高いプロセスガスや強力な化学薬品に対して優れた耐性を発揮。半導体製造装置、プロセスオートメーション、医療機器、OEM機器、IoTシステム、分析機器などの用途に適している。