インターロックベローズ

本製品は、CVD、Etcherなどのポンプから除害装置間に設置するベローズ。内部が二重構造となっており断熱効果および保護性能に優れ、さらに接ガス部内壁がフラットに近いため生成物の堆積を低減。長寿命を実現し、メンテナンスの頻度を減らすとともに、装置稼働率向上、コスト削減にも寄与する。配管径およびフランジ：NW40～NW150、面間サイズ指定：1mm単位(特注)。従来ベローズと同等の収縮性(曲げ角度は30°程度まで)も備えている。