高純度オゾンガス発生装置 明電ピュアオソンジェネレータ
最終更新日:2015/01/16
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重金属不純物フリーでオゾンガスを連続供給
【明電ピュアオソンジェネレータ】は、ほぼ100％の高純度オゾンガスを連続生成できる装置。複数のオゾンチャンバを並列接続することで、高純度オゾンガスの連続供給を可能としている。同社では、不純物無しで強い酸化力を持つオゾンを直接反応させる「ピュアオゾン処理法」、オゾンに反応促進ガス（エチレン）を添加する「添加ガス処理法(同社特許)」、オゾンにUV光を照射して反応を活性化させる「UV(紫外光励起)オゾンCVD処理法」といった、毒性、爆発性のあるオゾンガスを安全、安定に供給できる技術を確立。用途に合わせた装置構成と処理法で、高純度のオゾンガスを提供している。
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