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Web:
https://www.leybold.com/
TEL:
0454713330

スクリュー型ドライポンプ DRYVAC

ライボルト(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • スクリュー型ドライポンプ DRYVAC
省エネデザイン、優れたメンテナンスコンセプト
【DRYVAC】は、新しい密封モーターを採用したスクリュー型ドライポンプ。コンパクトかつシール部を完全保護したスマートな水冷デザインに、パージガス機能を搭載。排気速度は630m3/hまたは5000m3/hで、最高到達真空度は1Pa以下を達成。過酷なプロセス用の「Champion」、高速排気プロセス用「Sprinter」、一般用途「Enduro」の3機種を用意している。主な用途は、太陽電池製造装置、各種工業炉、熱処理炉、真空焼結炉、真空包装、真空乾燥、薄膜コーティング、脱ガスプロセスなど。

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