省エネデザイン、優れたメンテナンスコンセプト
【DRYVAC】は、新しい密封モーターを採用したスクリュー型ドライポンプ。コンパクトかつシール部を完全保護したスマートな水冷デザインに、パージガス機能を搭載。排気速度は630m3／hまたは5000m3／hで、最高到達真空度は1Pa以下を達成。過酷なプロセス用の「Champion」、高速排気プロセス用「Sprinter」、一般用途「Enduro」の3機種を用意している。主な用途は、太陽電池製造装置、各種工業炉、熱処理炉、真空焼結炉、真空包装、真空乾燥、薄膜コーティング、脱ガスプロセスなど。
