水銀プローバ CVmapシリーズ

【CVmapシリーズ】は、米国Four Dimension社による、水銀をプローブに用いた内部測定機能付きC-V、I-V測定器。水銀が電極の代わりになるため電極形成の必要がない。試料サイズ：10mm角～300mmφまで対応、最大200サイトのマッピング測定が可能。専用ソフトウェアはTDDB、界面トラップ密度、ピンホール密度、キャリア濃度などの評価にも対応。2点のプローブ方式に対応した「CVmap92」と、3点のプローブ方式に対応した「CVmap92B」の2タイプを用意。CVmap92Bは、擬似MOSFET状態を実現。インシュレータ層の界面トラップ密度など､Top-Si層を除去することなく測定することが可能｡