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製品カタログ・資料
- フローコントロールシステム FCS Pressure Series
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：6.52MB 超高純度用、圧力制御方式を採用した、流量制御機器です。 【特長】 1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません 2.応答時間が0.5秒以下と早い 3.取り付け姿勢の影響を受けません (マウントポジションフリー) 4. 流量自己診断機能の搭載 5.ガス種を選びません 6..RoHS対応
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