排気圧力コントローラー EPS5000シリーズ

【EPS5000シリーズ】は、枚葉式洗浄装置をはじめとした排気ダクトラインの圧力変動による製造プロセスのゆらぎを防ぐための排気圧力コントローラー。独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で高速で圧力制御を実現。排気圧力を適切に制御することで排気流量も適正に管理されるため、排気ダクトの総流量・圧力管理により大幅なエネルギーコストの削減が可能となる。排気配管：25～150Aに対応、調整圧力(一次側)：－50～－999Pa、流量：15m³／分に対応(200Aの場合)。2秒以内という高速応答および10Pa以下(最大流量時)の低圧力損失を発揮する。枚葉式洗浄装置のチャンバー圧力制御、クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御、排気ラインの圧力変動を受ける機器およびプロセス、液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロールなどの用途に適している(特許出願中)。