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製品カタログ・資料
- オート・プレッシャー・コントローラー Multiple APC
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.37MB【Multiple APC】は、高い安定性と幅広い互換性を兼ね備え、速い圧力応答性・再現性を実現した自動真空圧力制御装置。真空成膜装置を補助し、成膜の工程において重要な、一定の真空圧力を制御に貢献する。さまざまなメーカー品との互換性があり、バルブには安定したMFCを搭載している。
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.37MB【Multiple APC】は、高い安定性と幅広い互換性を兼ね備え、速い圧力応答性・再現性を実現した自動真空圧力制御装置。真空成膜装置を補助し、成膜の工程において重要な、一定の真空圧力を制御に貢献する。さまざまなメーカー品との互換性があり、バルブには安定したMFCを搭載している。