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精密研磨装置 MA-150

ムサシノ電子株式会社

最終更新日:2021/04/09

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  • 精密研磨装置 MA-150
小さい試料を研磨する際に好適、1つの目的に対して1台を使用できるように設計開発
【MA-150】は、パーソナルタイプの研磨機でSEM、EPMA、TEMなどの横に設置し、1つの目的に対して1台を使用できるように設計開発された精密研磨装置。小型でスペースを占有しないため、小さい試料を研磨する際に適しており、半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックスなどの研磨が可能。試料に合わせた研磨盤・研磨剤を使用することでより良い研磨面が得られる。

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