デジタルマスフローコントローラ 形 MQV
最終更新日:2021/08/12
このページを印刷300msの高速制御性を実現
【MQV】は、検出部に独自開発の熱式流速センサ「マイクロフロー」を使用し、比例ソレノイドバルブ」高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラ。高速制御・広い制御範囲などの要求を実現した高性能な一般産業市場向け。100:1の広い制御範囲において、全閉から設定流量と設定値変更のいずれにおいても優れた高速制御性を発揮。圧力損失が小さいストレート流路構造で、 圧力損失の大きなキャピラリを使用しないため低差圧での制御が可能。一体形表示モデル・分離形表示モデルを設置場所に応じて選択でき、また、5ml/minの微小流量から、500L/minの大流量まで幅広い機種をラインナップ。
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