片面平板研磨機 SLシリーズ

【SLシリーズ】は、高精度平面研磨のために設計・製造された高精度片面研磨機。圧盤またはワークリングにアクティブ駆動機能を付与することで、ワークとラップ盤との相対的な移動速度を効果的に制御することができ、ラップ盤表面の摩耗や変形の発生を抑制し、ラップ盤が長期間にわたって精度を維持することが可能。さらに、ラップ盤とワークリングの速度比を制御できるため、ワーク形状の制御も容易となる。またラップ加工精度が限界に達し、それ以上のブレークスルーが難しくなった場合は、圧盤またはワークリングに往復揺動機能を追加することで、研磨軌跡の再現性をさらに低減させ、ラップ精度を一層向上させることができる。直径範囲：380～2000mm、リング内径：2～900mm。精度は2つの光バンド(0.6μm)の平面度に達することができ、Ra0.04,TTV 2μm。