研磨ガスケット研磨布 Fシリーズ

【Fシリーズ】は、半導体ウェーハの粗磨きおよび中磨きに使用され、高い研磨速度、高い平坦性、ウェーハ欠陥の低さなどの利点を有する研磨ガスケット研磨布。シリコンウェーハ、ガリウム砒素、光学ガラス、セラミック、サファイア基板シートなどの材料の研磨に使用できる。ユーザーの要求に応じ、表面に溝を加え、研磨液の流動性を高め、研磨効率と精度を向上させることが可能。