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技術資料 新しいエキシマレーザ加工により、超硬DLC膜の低温製作が迅速化

コヒレント・ジャパン株式会社

最終更新日:2025/12/15

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  • 技術資料 新しいエキシマレーザ加工により、超硬DLC膜の低温製作が迅速化
Antacon社の事例を紹介
本資料は、ミットヴァイダ応用科学大学からスピンオフしたAntacon社の事例を紹介。同社のハーゲン・グリュットナー氏は、エキシマレーザの利点を次のように要約している。 「LEAPの高いパルスエネルギーによって、高速な成膜とレーザアニーリングが可能になります。安定した出力とフラットなトップビームプロファイルにより、成膜とレーザアニーリングの両プロセスを正確に制御することができます」。

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お客様事例 新しいエキシマレーザ加工により、超硬DLC膜の低温製作が迅速化
お客様事例 新しいエキシマレーザ加工により、超硬DLC膜の低温製作が迅速化

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.7MB本資料は、ミットヴァイダ応用科学大学からスピンオフしたAntacon社の事例を紹介。同社のハーゲン・グリュットナー氏は、エキシマレーザの利点を次のように要約している。 「LEAPの高いパルスエネルギーによって、高速な成膜とレーザアニーリングが可能になります。安定した出力とフラットなトップビームプロファイルにより、成膜とレーザアニーリングの両プロセスを正確に制御することができます」。

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社名:
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住所:
〒 151-0053
渋谷区代々木2-1-1 新宿マインズタワー26階
Web:
https://www.coherent.com/ja
TEL:
03-5365-7100