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クリーンベンチトリンク TAS-701 CBA- 490／790 TAS-702 CBI-530／950

最終更新日:2015/07/24

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埃を不活性化して埃の付着しない環境を実現

【TAS-701 CBA- 490／790 TAS-702 CBI-530／950】は、層流を乱さず除電することで、劇的な歩留まり向上を実現したクリーンベンチ専用システム。HEPAフィルタにより濾過された空気を流し清浄度を保つクリーンベンチでは、ワークの除電のほか、あらかじめワークに付着していた埃の除去と作業者から出る埃をワークに付着させないことが重要である。しかし、従来のファン型除電器やエアブロー型除電器は、除電のための送風が層流を乱し、クリーンベンチ本来の機能に影響を与えていた。本システムは、クリーンベンチ内の気流と埃の動きを解析し、高レベルの清浄度と除電を行ない、極限まで不良を減らすことが可能。また、効率的なイオン発生構造により、大きな空間でも消費電力を抑え(消費電力：4W)、低いランニングコストで高い効果を発揮する。

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住所：: 〒 432-8006
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