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精密研磨装置 DHシリーズ

ハイソル(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • 精密研磨装置 DHシリーズ
半導体向け硬質材料や光学材料を高速加工
【DHシリーズ】は、中・少量生産に適した英国ロジテック社製精密研磨装置。1ヘッドタイプDH300は最大12インチウエハ1枚、4ヘッドタイプDH600は2インチウエハ48枚から8インチウエハ4枚を同時研磨でき、長時間を要する研磨加工の大幅短縮を実現。シリコンカーバイドなどの半導体向け硬質材料や光学材料の高速加工が可能。

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企業基本情報

社名:
ハイソル(株)
住所:
〒 110-0005
台東区上野1-17-6 広小路ビル
Web:
http://www.hisol.jp/