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精密研磨装置 DHシリーズ

ハイソル(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • 精密研磨装置 DHシリーズ
半導体向け硬質材料や光学材料を高速加工
【DHシリーズ】は、中・少量生産に適した英国ロジテック社製精密研磨装置。1ヘッドタイプDH300は最大12インチウエハ1枚、4ヘッドタイプDH600は2インチウエハ48枚から8インチウエハ4枚を同時研磨でき、長時間を要する研磨加工の大幅短縮を実現。シリコンカーバイドなどの半導体向け硬質材料や光学材料の高速加工が可能。
    　　　　　　　　

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