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超精密研磨装置 Bni62システム

(株)ビーエヌテクノロジー

最終更新日:2014/02/01

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  • 超精密研磨装置 Bni62システム
研究開発から少量生産まで実現
【Bni62システム】は、6インチウエハに対応、技術とノウハウを含む最適なシステムをパッケージとして提供する超精密研磨装置。最大6インチ治具×2軸を標準装備、クリーンルーム対応カバーを装備、ナノテク環境下で研究開発から少量生産まで実現。耐薬品仕様で、シリコンウエハのCMPなど最先端半導体結晶材料のラッピング、ポリッシングに最適。
    　　　　　　　　

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