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卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx420

ハイソル(株)

最終更新日:2020/01/27

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1台でマイクロインデントから劈開まで対応

【LatticeAx420】は、±10μm以内の高精度な劈開をマニュアルで行える、LatticeGear社製の卓上型装置。作業者に左右されない高い再現性を持ち、1台でマイクロインデント(浅い切込み)から劈開まで対応する。スクライブを行わないため、ターゲット箇所を損失することがない。TSVやバンプの断面観察の前処理用途として、わずか5分以内にそのままSEM観察ができるレベルの断面を出すことが可能。FIBなどの加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用できる。

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: 卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx420
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.66MB±10μm以内の高精度な劈開をマニュアルで行える、LatticeGear社製の卓上型装置「LatticeAx420」作業者に左右されない高い再現性を持ち、1台でマイクロインデント(浅い切込み)から劈開まで対応

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