透明体と鏡面体の測定に対して有効
【IFD2451・2471】は、共焦点光学式の原理を用いた超高精度変位計。特に透明体と鏡面体の測定に対して有効であり、レイヤー構造の透明体各部の厚みをセンサシステム1台で測定することができる。内径・内部形状測定や超高分解能による表面検査など、多種にわたるセンサ、Webインターフェースを通じ、広範囲のデータベースを利用でき、個々の編集と拡張が可能となる。また、キセノン外部光源を基に応答性を最大70kHzまで向上しており、半導体関連・ガラス基板関連・フィルム関連などの測定に最適。