マルチ共焦点顕微鏡システム Zeta-20
最終更新日:2019/11/11
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独自技術で時間のかかる走査測定から解放し、素早く情報を3次元化
【Zeta-20】は、高さ方向にのみ移動させながら2次元情報をスキャンし、素早く3次元の情報にする独自のグリッド共焦点技術「ZDot」を採用したマルチ共焦点顕微鏡システム。これまで時間がかかっていた走査測定から解放され、1回のスキャンで3次元形状を測定可能。2.5～150倍のレンズに対応。高反射と低反射を同時に測定し、段差、粗さ、形状を2D／3Dで表示。測定ステージ可働範囲：手動100×100mm／自動150×150mm、スキャン速度：＞150μm／秒。
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