非接触三次元光学式測定機 インフィニートフォーカス SL

【インフィニートフォーカス SL】は、焦点移動法を採用した非接触三次元光学式測定機。光学系のZ軸を走査しながらイメージセンサで連続して画像を取り込み、各ピクセルごとの焦点が合った像を合成して3Dデータ化する方法により、測定が困難な急峻面や反射率の高い表面を垂直分解能10nmで測定できる。形状解析と表面粗さ解析などさまざまな解析ソフトを装備し、多様なユーザーの測定における問題の解決に寄与。従来機の約5倍という高速で高精度な測定が行え、従来は数分かかっていた測定も数十秒で完了する。また、対物レンズにコンセントレータという集光構造を付加したリングライト照明(特許)により、ピンポイントで測定位置に最適な照明をあてることが可能。LEDライトもセグメント単位でのON／OFF切り替えが可能で、反射率の異なる表面の測定に有効。