非接触3次元表面形状測定システム CHR-150
最終更新日:2018/04/18
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最高2nmの分解能で高精度測定
【CHR-150】は、コントローラと光学ペンで構成されるSTIL社製波長コンフォーカル方式光学センサ。多様な測定対象の3次元形状・厚さ・膜厚を最高2nmの分解能で高精度測定できる。測定するワークの特別な前処理は不要で、操作に特殊な技術も必要ない。光学ペンは測定深度20μm～27mmまで10種類以上を用意、測定対象に応じて選択可能。
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