真空吸着テーブル ポーラスチャック

本製品は、ダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれるポーラスチャック。95％以上がオーダーメイドで製作され、「ポーラスの性能を活かした安定吸着」「卓越した台金加工技術」「柔軟なカスタマイズ対応」を特長としている。テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することによって薄いシリコンウェハーなどを平面保持する。フィルム・紙など、あらゆる薄物ワークの吸着固定が可能。95％以上がオーダーメイドにて製作され、表面は3µm以下の高精度に仕上げ可能。