真空チャック ホットバキュームチャック HoVaC

【ホットバキュームチャック HoVaC】は、シリコンウェーハやフィルムなど、薄いワークを真空吸着しながら加熱実験が行えるユニット。加熱時に変形が発生する極薄ウエハーや薄膜フィルムをシワ無く固定することができ、また、熱硬化によるウエハー同士の貼り合わせや、テープマウンター、リムーバー、車載用チップの高温耐久テスト、樹脂金型成型用としての使用にも好適。最大で250℃の加熱ができ、温度分布や加熱温度によりヒーターの種類を選択することが可能。さらに電源は100Vまたは200Vより選択できる。対応サイズは、丸型は3〜12インチ、角型は□50〜300まで製作可能。