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パレット用セル型プリヒート装置 FPH-2628

FAシンカテクノロジー株式会社

最終更新日:2014/01/31

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  • パレット用セル型プリヒート装置 FPH-2628
熱量の大きな基板パレットを効率的にプリヒート
【FPH-2628】は、ワークテーブル自動引き出し機能付きの密閉型プリヒート装置。高効率遠赤パネルヒータと完全密閉構造で、効果的にプリヒートできる(従来比30%アップ)。自動排出により、常に同じ条件でプリヒートで可能。セルレイアウトに適した、小型幅狭形状。

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